俄羅斯自研光刻機，日本推納米壓印設備，終結ASML時代？

該技術來自日本光刻機巨頭佳能公司，佳能已經在銷售5nm製程的納米壓印設備了，而且據說設備的價格比EUV光刻機少一位數。

納米壓印是什麼？和傳統的光刻機有什麼區別？納米壓印通過將模具和待加工材料緊密接觸並施加壓力，使得材料在納米尺度上發生形變和變形，從而形成所需的納米結構。

這種技術可以在納米尺度上製造具有高解析度、高精度的納米結構。和傳統光刻機的區別在於納米壓印設備通常更簡單且成本較低，因為它們不需要使用複雜的光刻光源和光掩模。而且納米壓印通常具有比光刻機更快的工藝速度，可以加快製造過程。